جستجو . ورود به وبگاه    ۱۴۰۰/۵/۵  
 
 

کتابخانه ديجيتال
گزارشات حاصل از طرح هاي پژوهشي خاتمه يافته


مشخصات گزارش:

۸۷۰۲۰۱۱۵ شماره طرح:
ساخت و بررسي سنسورهاي شتاب با تكنولوژي ريزماشينكاري سيليكان (MEMS) عنوان طرح:
سيد شمس الدين مهاجرزاده مجري:
فني و مهندسي شاخه:
۸۸/۹/۸ تاريخ تصويب طرح:
۹۰/۸/۲ تاريخ پايان طرح:
۹۰/۸/۲ تاريخ انتشار:
توجه: براي دريافت اصل گزارشات لطفا از طريق با صندوق تماس حاصل نماييد. دانلود فايل گزارش:

چکيده:

در اين پروژه از تجربيات بدست آمده در آزمايشگاه براي ساخت ترانزيستورهاي اثر ميدان بعنوان المانهاي حاشيه اي در ساخت ادوات ميكروالكترومكانيكي استفاده شده و با استفاده از تكنيكهاي ريزماشينكاري كه بصورت بدنه و غير همسانگرد انجام مي گيرد امكان ساخت سنسورهاي بسيار پيشرفته شتاب عملي خواهد شد. اين سنسورها نياز به ريز ماشينكاري سيليكان با دقت بسيار بالا و نوعا بصورت عمودي دارند تا بتوان به صفحات خازني بين انگشتي و با تعداد زياد دست يافت. اين صفحات خازني بصورت موازي و برروي يك زير لايه سيليكاني تقريبا شناور مي باشند و با اعمال شتاب در راستاي قرار گرفتن آنها تغيير يافته و نتيجه اين تغييرات ثبت شده و نشاندهنده شتاب مورد نظر مي باشد. طبعا اگر ميزان شتاب از مقدار مشخصي بيشتر باشد سنسور مي تواند فرمان خاصي را به سيستم ايمني خودرو ارسال نمايد و بالشتك هوا عمل نمايد.

در اين پروژه هم خود سنسور ساخته خواهد شد و هم مدار حاشيه اي (Read-out) كه به بهبود سيگنال به نويز مي انجامد ساخته خواهد شد. ساخت سنسور توسط ريزماشينكاري تركيبي بدنه و عمودي و با دقت بسيار بالا عملي خواهد بود و ساخت مدار حاشيه اي توسط ترانزيستورهاي اثر ميدان بعنوان يك تقويت كننده ساده عملي خواهد بود.


 
  جستجو در کتابخانه ديجيتال
نام مجري (نويسندگان):
عنوان گزارش:
چکيده و متن:
راهنماي جستجو
 
  ابزارهاي مشاهده
راهنمايي
دريافت فونت ها
تغيير رنگ هاي سايت
نسخه قابل چاپ اين صفحه
 
© تمام حقوق براي صندوق محفوظ است | صفحه اول | چاپ صفحه
آخرين بهنگام سازي اين صفحه: ۱۳۹۳/۱۱/۱ - ۱۶:۵۱